Электроника. Материалы. Устройство вещей.

По вторникам и пятницам

Журнал наблюдений

Механика и материалы

4 найдено
Рубрика: Механика и материалыСбросить фильтры ×

MEMS: от датчика к микросистеме

Акселерометр ADXL50 (Analog Devices) стал переходом от «чувствительного элемента» к полноценной микросистеме. На одном кристалле были объединены: — инерционная масса на подвесах, — дифференциальная ёмкостная…

2 мин чтения

MEMS: от мембраны к трёхмерной структуре

Первым действительно масштабируемым применением микромеханики стали датчики давления. Конструкция была инженерно элегантной и технологически удобной: тонкая кремниевая мембрана формировалась травлением с обратной…

2 мин чтения

MEMS: когда кремний стал механикой

Кремний традиционно рассматривается как полупроводник для формирования транзисторных структур. Однако его механические свойства — высокий модуль Юнга, прочность и отсутствие пластической деформации в пределах упругой…

2 мин чтения