MEMS: от датчика к микросистеме
Акселерометр ADXL50 (Analog Devices) стал переходом от «чувствительного элемента» к полноценной микросистеме. На одном кристалле были объединены: — инерционная масса на подвесах, — дифференциальная ёмкостная…
2 мин чтения


